清华大学微电子与纳电子学系（以下简称微纳电子系）是以1980年成立的清华大学微电子学研究所为基础，于2004年成立的新系。它的成立标志着我国微电子学研究正向纳电子学逐渐过渡，是学科发展的需要，也是全面提升科研、教学水平的需要。科研与教学设施先进，师资力量雄厚，是国务院首批批准的硕士、博士研究生培养点和博士后流动站，微电子学科是全国重点学科，也是培养我国集成电路产业发展急需人才的重要学科。
目前有教授、研究员17名（其中博士生导师11人，包括中科院院士1名），副教授、副研究员33名。
微纳电子系本科生专业为微电子学，本专业学生目前是由电子工程系按照电子信息科学类专业大类统一招生入学，在大二年级下学期进行专业选择，进入微纳电子系的本科生毕业后授予微电子学专业学位。
学生培养
微电子学专业本科生的培养目标是：使学生系统掌握集成电路设计与制造技术专业的基本理论、专业知识和基本技能，并掌握一定的人文社会科学、经济管理、环境工程等方面的基本理论，具有在专业领域跟踪新理论、新知识、新技术的能力，成为能适应信息产业发展和社会主义市场经济需要的复合型、应用型高级设计、制造、开发及管理型人才。
对本科学生已开设8门专业核心课、6门专业限选课、3门专业任选课、2门新生研研讨课、1门全校性选修课
科学研究与教学实践基地
微纳电子系包括四个研发、教学基地，分别是：
1、微纳器件与系统研究室：主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统，研究范围是：新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向：新型微电子器件与系统，纳电子学。
2、固体器件与集成技术研究室：集成电路开发与工业性试验线目前主要进行各类新型SiGe微波功率半导体器件与集成电路以及其它特殊用途的硅集成电路的研究开发，它同时也是北方微电子研究开发基地的重要组成部分之一。
3、集成电路与系统设计研究室：主要研究大规模集成电路设计和测试的理论和技术，研究工作包括系统芯片（SoC， System on Chip）设计所涉及的理论、算法、电路、方法学、体系结构等。具有先进和完善的集成电路设计、测试的软硬件环境。
4、CAD技术研究室：主要从事半导体物理、器件与大规模集成电路CAD等方面的研究工作。主要研究方向有：极小尺寸MOS器件输运机理研究；纳米级量子、电子器件结构和理论分析；微、纳米级器件的CAD软件研究；微、纳米级新结构器件研究；建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发；射频（RF）电路版图设计的电路提取和验证；集成电路制造的计算机辅助管理系统（IC－CAM系统）研发等。
奖、助学金
除了学校已有的奖学金外，微纳电子系还设立了由多家国内外公司为本系学生单独发放的奖学金，分别是：英特尔公司、飞利浦公司、Cadence公司、ADI公司、中星微电子公司、泰瑞达公司、京东方公司、Lam Research公司、Cirrus Logic公司，及以个人名义设立的胡正明奖学金、王荣腾、邹积兰奖学金。
毕业前景
微纳电子学专业是我国目前急需人才的专业，特别是近几年，国内芯片设计、芯片制造公司正处在快速发展阶段，加上国外企业纷纷在国内设点进行产品研发及各大院校相关专业的教学、科研急需人才，使得本专业的毕业生供不应求，前景无限。另外，本学科是国务院首批批准的硕士、博士研究生培养点和博士后流动站，具有雄厚的师资力量，毕业生也可选择在学校良好的环境中继续深造，在资深学者的指导下攻读硕士、博士，参加课题研究，积累工作经验，为走向社会打下更好的基础。
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