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研 究 方 向
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主要内容简介
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微机电系统集成设计与制造技术
（08022001）
Integrated Design and Manufacturing Technology of MEMS
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1．MEMS集成设计技术
2．系统级建模
3．多域耦合分析
4．微加工工艺模拟和工艺设计
5．测量与控制电路技术
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纳米机电系统与纳米机械
（08022002）
NEMS and Nanomachines
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1．纳米机电系统
2．纳米结构的加工技术
3．纳米机电系统的设计、分析与控制技术
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纳米测量与虚拟仪器
（08022003）
Nano Metrology and Virtual Instrument
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1．虚拟仪器检测自动化
2．动态检测与故障诊断技术
3．精密测试与传感器技术
4．纳米检测技术
5．微结构图像测量与处理技术
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微型制造系统及其相关技术
（08022004）
Micro Fabrication System
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1．微型制造系统
2．激光微细加工技术
3．微装配技术
4．微机器人
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微/纳米生物医学信息技术
（08022005）
Micro/nano Technology for Biomedical Engineering
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1．生物医学用微纳米传感器
2．生物医学用微纳米致动器
3．生物医学信息的获取与操纵技术
4．生物芯片
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