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一、培养目标
本专业旨在培养能从事半导体与微电子技术领域内的工作，具有高素质、高水平和强科研能力的高级专门人才。
学生在本专业的学习过程中，应努力掌握马克思列宁主义，毛泽东思想和邓小平理论的基本原理。牢固树立无产阶级的人生观、世界观，道德观与价值观。热爱社会主义祖国，积极为社会主义建设服务。做到品行端正，道德规范，遵纪守法，服从国家利益。
学生通过本专业的学习，应具有良好的专业素质和严谨的科研作风。在本学科领域内具有坚实的理论基础和较宽的专业口径。了解本学科的发展方向以及国际学术前沿动态，能独立从事科学研究、教学活动、应用开发以及一定的业务与行政管理工作。能熟练掌握一门外国语，具有健康的体魄，成为发展我国科学技术和现代化建设的栋梁之才。
二、研究方向
微电子技术是发展电子信息科学技术的基础，在经济建设、科技进步与社会发展中具有重大深远的意义。21世纪微电子技术将与精密机械加工技术、系统集成技术、生物技术、光电子技术、材料技术与纳米技术相结合，产生了许多的新兴交叉学科。
本专业具有结构合理的学术梯队，相对稳定的研究方向和较好的科研基础等培养研究生的条件。目前本专业共有三个稳定的研究方向，即光电信息材料物理与技术，集成电路设计与器件特性模拟和固体发光材料与显示器件等。目前，这些研究均在国内处于领先地位，对发展以计算机技术和通信技术为主的信息科学技术和国防高科技具有重要意义。
1.研究领域
(1)光电信息材料物理与技术
光电信息材料物理与工艺技术是凝聚态物理、材料科学和信息技术领域中最受关注的应用基础性研究方向之一，旨在研究各类以半导体为主的信息材料的制备工艺、结构特征、力学性能、物理性质、光学性质以及在各类固态电子器件与工业技术中的应用。
本专业方向的研究内容包括以下三个方面：(1)硅基低维材料(如nc-Si:H膜、Si纳米微粒、纳米团簇、超硬材料、磁性纳米技术的制备方法及其生长机理。(2)上述各类材料的结构特征、力学性能、表面改性、电子输运、掺杂特性、敏感性能及发光特性的理论与实验研究。(3)上述各类材料在各种新型固态电子器件与工业技术中的研制、开发与应用，如高灵敏度传感器、大功率耐高温器件和量子功能器件以及铁电薄膜存储器件等。
(2)发光材料与显示器件的研究
针对信息显示对发光器件的多色化、高亮度、长寿命要求，通过优化选择发光中心掺杂元素与电子陷阱掺杂元素、反应气氛实时动态控制、晶体生长过程精细设计、水解CVD反应在发光微晶表面生成金属氧化物薄膜等，制备高性能电致发光和光致发光材料。同时，研究发光地名标志产品和交通、运输行业的标志产品的规模化的生产技术，为实现器件的行业性推广奠定基础。发光地名标牌已被GB17733.1《地名标牌 城乡》强制性国家标准采用，民政部等四部委联合发文，将用五年的时间在全国668个城市推广。设施农业专用光源的研究，主要针对农作物对不同光波段的选择性吸收，研制发光效率高、长寿命、宽光谱的粉体发光材料。
(3)集成电路设计与器件特性模拟
固态微波电子器件及其集成电路，如微波半导体器件、低温半导体器件、异质结半导体器件以及微波半导体集成电路等，是微电子学与固体电子学领域中重要的研究方向之一。各类高性能和高可靠性的固态微电子器件的设计与制造，对发展以计算机技术和通信技术为主的信息科学技术和国防高新科技具有重要现实意义。本专业方向的研究内容主要包括以下几个方面：(1)各类微波半导体器件及其集成路的设计、开发与研制。(2)上述固态微电子器件的工作特性分析、性能测试及高可靠性研究。(3)低温半导体器件与异质结器件的特性参数和输运机理的理论与实验研究及计算机模拟等。
三、学习年限
本专业的学习年限一般为三年。在职硕士研究生的学习年限可适当延长，其延长时间一般不超过一年。
四、课程设置
本专业方向课程设置的指导思想是，应具有坚实的理论基础，较宽的专业口径和崭新的科学前沿。学生通过这些课程的学习，既能从事半导体与微电子技术领域的创新性理论研究，又能承担相应的教学工作，同时也能进行该领域内应用型科技开发等。其具体课程设置见附表1。
五、学位论文工作
学位论文工作是研究生培养的重要组成部分，是对研究生进行科学研究或承担专门技术工作的全面训练，是培养研究生的创新能力，综合运用所学知识发现问题，分析问题和解决问题的主要工作环节。
本专业论文共包括两个部分，即科研论文和学位论文。科研论文是学生在学习期间通过导师指导，或独立完成，或与他人合作完成的在专业刊物上正式发表的学术论文。学位论文是学生申请硕士学位的论文，该论文要在导师指导下独立完成。论文写作开始之前通过调研、实验及阅读有关文献写出开题报告，并经导师组审核同意后方可开始进行。论文完成后经指导教师同意，按学校规定程序进行评审，评审通过后方可进行论文答辩。撰写学位论文时可以参考或借用科研论文中属于自己的研究内容部分。学位论文格式及论文答辩程序按学校有关规定执行。
六、培养方式与方法
硕士生培养实行导师负责下的硕士生指导小组制，导师指导与集体培养相结合，其具体方案是采用理论教学、实验教学和科学研究相结合的方法。理论教学包括课堂教学、专题讨论、论文选读等几个方面。通过学习可使学生掌握本专业的基础理论与专业知识，为今后的科学研究打下良好基础。实验教学是通过某些必要的实验而掌握本专业的一些专门知识，以提高实验技能，为今后独立从事科学研究打下坚实基础。科学研究主要包括开设新实验、论文写作及教学实践等方面。通过这些环节使学生掌握科学研究的方法与技能，具有独立进行科学研究，科学实验和教学工作的能力。
本着“优势互补、资源共享、互惠互利、共同提高”的原则，为培养面向21世纪的高层次人才，我们还将开展与有关科研单位与高校联合培养研究生的办法，如信息产业部电子13所和中国科学院半导体研究所等。这样既可以扩大我们的学术影响，又可以相互加强学术交流与科研合作。
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